第694章 78型設備的最後一個難關被攻克!
與此同時,江寧省實驗廠內的超凈間外的觀察窗外擠滿了人,陶斯言、吳啟中、黃復民等平時忙得連實驗室都不會出的教授已經守在窗前足足等了兩個小時,但大家臉上沒有絲毫的焦躁,隻有興奮和期待,還有一絲絲緊張。
因為此時陳望正對研製出來的光刻膠進行最後的檢測,兩個多月接連不休的辛苦成果,是成功還是失敗,就看現在了。
所以大家得知這個消息後都忍不住提前跑來等著,這會超凈間外站滿了人。
超凈間裡,三個身穿全身包裹實驗服的人正有條不紊的進行著最後的步驟。
兩高一矮,兩個高的是五七幹校回來的王書勛教授和化學專家黃斌,矮的自然就是陳望了。
超凈間裡隻有設備的低頻嗡鳴聲,陳望在王書勛和黃斌緊張的目光下按下塗膠機的啟動鈕,那瓶琥珀色的膠液通過0.1微米的聚四氟乙烯濾膜,在離心力作用下綻開完美的液膜。
王書勛和黃斌護目鏡下的眼睛瞬間露出喜色,然後目光死死鎖在矽片表面,三十秒後,牆上的橢圓偏振測厚儀顯示出數據。
矽片上形成的膠膜厚度983埃,均勻度±5埃。
!!!!
王書勛和黃斌對視一眼,滿眼都是狂喜,這數據已經完全超過了他們花高價從特殊渠道買回來的島國光刻膠的數據!
正在倆人忍不住興奮激動時,耳邊響起陳望平靜的聲音,「原料純度數據再確認一次。」
王書勛反應過來連忙翻開桌子上的記錄本,「苯酚,金屬離子總含量0.8ppm,鈉離子未檢測出,間甲酚,有機雜質低於50ppb,溶劑·····」
旁邊的黃斌聽著王書勛念的這些數據至今都感覺像是在做夢,攻克光刻膠對於他們最難的不是配方,因為在陳望在帶領他們做這項研究的第五天就已經完成了配比。
最難的是高純度的原料,以國內的化工產業,想要得到高純的原料十分艱難,就比如苯酚來說,在陳望提純之前金屬離子的含量可是以「百分比」來計算的,由此就能知道想要直接得到高純度原料由多麼困難了。
不過在他們夜以繼日的努力之下,終於完成了大部分原料的提純!
有兩樣原料因為時間問題還是直接從國外購買的。
其實如果時間允許他們更希望能跟著陳望自己提純。
跟著陳望提純這些原料有兩個特別大的好處,一個是在實驗過程中他們摸索出了一套半導體光刻膠的原料標準,雖然國內現在的化工廠很難達到,但至少有個奮鬥的目標。
隻要解決了上遊原料的問題,那麼他們的光刻膠生產總有一天能實現質的飛躍。
還有一個就是大量的實驗記錄能為這些化工廠提供數據和技術支持,每一個分化出去的技術或製備工藝,都將有可能促進一個產業分支的出現。
然後總有一天,這些分支慢慢的就能撐起整個集成電路產業!
想到這裡黃斌不禁心想,如果在來江寧省物理研究所之前有人告訴他,在未來的某一天,他們國家的工業會因為一個人而發生翻天覆地的變化,那他肯定會白那個人一眼,順帶罵句瘋子!
但是如果現在有人這樣跟他說,黃斌會激動的抓著他,告訴他,是的,而且他還隻是一個12歲的孩子!
黃斌目光炙熱地看著陳望,彷彿已經通過他看到了華國未來工業騰飛的場景。
陳望:「王教授你把觀察的日光燈現在就打開了嗎?」
王書勛往後面看了一眼,「沒有啊陳所長,現在就要開了嗎?」
「哦,不用,那就奇怪了,總感覺後腦勺有什麼烘烤著一樣。」陳望一邊把矽片浸入顯影液一邊嘀咕。
站在陳望身後的黃斌聽了默默移開了視線。
這時觀察窗外的陶斯言吳啟中等人看見陳望已經在進行顯影這一步也更加緊張起來。
顯影時間為65秒,王書勛目不轉睛地看著計時器,在指針跳完一圈跳到5的瞬間立馬出聲,「提!」
而幾乎是在王書勛出聲的同一時間陳望就毫不猶豫地把顯影液中的矽片提了出來,彷彿就算王書勛不出聲他也能精確計時。
陳望把矽片提起來之後沒有立馬放到顯微鏡下,而是讓黃斌把日光燈打開,對著日光燈觀察了起來。
「怎、怎麼樣?陳所長。」王書勛聲音發緊地問道。
「幹涉條紋是均勻的淡藍色,沒有斑點也沒有霧狀殘留,還不錯。」
這哪裡是還不錯!這已經是肉眼能觀察到的最佳狀態了!
王書勛和黃斌激動得手都在發抖。
陳望則轉身把矽片放到了顯微鏡的載物台上,這時屋裡屋外的人都下意識放輕了呼吸。
一分鐘後,陳望直起身子。
然後沖屋外的陶斯言和一眾教授們滿臉笑意地豎了一個大拇指。
「這…這是成功了?」
「對!成功了!!」
「哈哈哈!成功,成功了!」
「太好了!成功了!」
一群老教授們不顧形象地歡呼起來。
這意味著他們攻克了接近視光刻機的最後一個難題,馬上就能完成接近視光刻機的研發了!
超凈間的陳望也高興地讓黃斌做著最後的記錄,「4月15號10點20分,光刻膠研製成功,解析度、缺陷密度、線條陡直度三項核心指標全部超過國際標準。」
弄完一切後,陳望脫下實驗服出了超凈間,跨出來的那一刻直接被眾位教授熱情激動地圍在了中間。
「哈哈哈,陳總師,恭喜恭喜啊,又攻下一個難題!」
陳望:「嘿嘿嘿,同喜同喜。」
「是啊,這可是研發78型設備的最後一個難題,值得慶祝,今晚必須讓食堂加紅燒肉啊!」圍在外面的一個年輕研究員激動地建議道。
「有人不會是在偷偷為自己謀福利吧?」周堯大步流星地從外面趕過來。
那人聽完趕緊偷偷地藏了起來,他可不想事後被周堯叫到辦公室進行思想教育。
不過這個建議十分符合陳望心意,當場就採納了,「嘿嘿嘿,行!」
「哇!謝謝陳總師!」
周堯無奈至極,「陳總師,你可不能慣著他們,我們的夥食已經開得夠好了,要想想那些在西北——」
「沒事沒事周副院長,等我們掙錢了,爭取讓所有研究基地的夥食都變這麼好!」但現在他還是得吃,他得長身體!

